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什么是氧化锌LED衬底

  • 发布时间:2017-05-21 00:00   来源:未知
  氧化锌(ZnO)与氮化镓(GaN)晶体结构相同,禁带宽度接近,其能带不连续值小,接触势垒小,因此,ZnO被当做GaN外延片的候选LED衬底。ZnO材料的生长非常安全,可以采用没有任何毒性的水为氧源,采用有机金属锌为锌源。


  ZnO作为衬底的致命弱点是在GaN外延生长的温度和气氛中易分解和腐蚀。目前,ZnO半导体材料尚不能用来制造光电子器件或高温器件,主要原因是材料品质达不到器件水准和P型掺杂问题没有真正解决,适合ZnO基半导体材料生长的设备尚未研制成功。今后其研发的重点是寻找合适的生长方法。
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